形成连续微光学元件的灰度掩模图形生成方法

形成连续微光学元件的灰度掩模图形生成方法

周礼书;李学民;杜春雷;霍永峰;张益民

【期刊名称】《光电工程》

【年(卷),期】2000(027)002

【摘要】针对利用灰度掩模制作连续微光学元件的方法,介绍了从元件结构到灰度图形的转换,灰度图形的修正,灰度图形的数字化以及图形编码等关键步骤.最后给出生成微透镜列阵掩模图形的实例.

【总页数】4页(31-34)

【关键词】微光学元件;灰度掩模;数字图象;微型透镜

【作者】周礼书;李学民;杜春雷;霍永峰;张益民

【作者单位】中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209

【正文语种】中文

【中图分类】TN42

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