ADP-ADS 系列 2 干泵使用说明书

ADP-ADS 系列 2 干泵使用说明书

尊敬的客户:

非常感谢您购买了阿尔卡特的干泵,我们非常荣幸您能够成为我们众多客户中的一员。

该产品得益于阿尔卡特多年以来在“半导体”工艺以及在干泵上的经验。

为了能够确保您使用的干泵拥有最优的性能并使您满意,我们建议您能够在使用该泵之前详细阅读该使用说明书,尤其是关于安装和开机的章节。

应用: z H 型 :针对非常苛刻的工艺 z P 型 :针对中等工艺 z LM型 :针对干净的工艺

优点:

z 体积小,占地面积小 z 使用成本低

z 非常高的性能(抽速以及极限压力) z 在苛刻环境下出色的运行效果 z 易于一体化

z 先进的监控功能 (待机状态可减少N2的消耗量,断电保护) z SEMI S2-93标准的兼容性(可选)

特性:

z 多级罗茨技术

z 水冷电机(高压/低压)

z 排气口以及与各种接口位置可选在泵的上方或泵的背部

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