冷凝泵机械结构及工作原理

冷凝泵机械结构及工作原理

一、简介

冷凝泵机械结构及工作原理

冷凝泵工作原理是通过冷凝或者俘获分子来实现真空。它由一些低温的表面(-193oC- -255)来冷凝气体分子。另外,冷凝泵也通过带有活性炭的表面吸收不能被冷冻的气体分子。

一.冷凝泵机械结构

1.压缩机

将氦气压缩之后送到冷冻机里 2.冷冻机

使被压缩的氦气在冷冻机里膨胀,冷却作用 3.泵壳

泵体内(挡板处)将气体凝固,使气体被吸空获得真空 上述的三个系统组成一个整体的冷凝泵系统运转。

冷凝泵机械结构及工作原理

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