ASML Stepper Zero layer shiftPPT

ASML Stepper Zero Layer shift Issue 1) Problem 2) Root cause 四月份AP148 1NAD495.1及AP951 1NAD414.1各發生一 片零層曝偏

經量測此二片異常晶片的相關尺寸(如下黃色標示)與正常的產品 及控片相差過大。由於ASML Stepper與Nikon ADI晶片定位 機制的差異,導致晶片尺寸有差異時,將造成ASML Stepper 所曝的零層將無法Control在Nikon ADI的檢驗規格內,如圖 一、圖二、圖三說明。

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