第3章+薄膜的物理气相沉积IIPPT

第三章 薄膜的物理气相沉积(Ⅱ) ——溅射法及其他PVD方法 利用带有电荷的离子在电场中加速后 具有一定动能的特点,将离子引向欲被溅 射的物质做成的靶电极。在离子能量合适 的情况下,入射离子在与靶表面原子的碰 撞过程中将后者溅射出来。这些被溅射出 来的原子带有一定的动能,并且会沿着一 定的方向射向衬底,从而实现薄膜的沉积。 1

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