无氢化学气相沉积法制备碳纳米管

化学气相沉积

第11卷第4期

2005年12月

功能材料与器件学报

JOURNALOFFUNCTIONALMATERIALSANDDEVICES

Vol111,No14Dec.,2005

文章编号:1007-4252(2005)04-0411-04

无氢化学气相沉积法制备碳纳米管

夏玉学

1,2

,王维彪,陈明

11,3

,梁静秋,雷达

11,2

,陈松

1,2

,刘丽丽

1,4

,姜锦秀

1

(1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春130033;2.中国科学院研究生院,北京100039;

3.哈尔滨工业大学,哈尔滨150001;4.东北师范大学,长春130024)

摘要:采用无氢的化学气相沉积法(CVD)进行碳纳米管的制备技术研究,并成功地制备了<20~

μm左右的碳纳米管。<80nm左右,长度为50~100

man光谱、扫

描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM),结果表明采用无氢CVD关键词:;中图分类号::A

SynthesisofcarbonnanotubebyCVDmethodwithouthydrogen

XIAYu2xue

1,2

,WANGWei2biao,CHENMing,LIANGJing2qiu,

1,2

11,31

LEIDa,CHENSong,LIULi2li,JIANGJin2xiu

1,21,41

(1.ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,ChineseAcademyofSciences,Changchun130033,China;

2.GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences,Beijing100039,China;

3.HarbinInstituteofTechnology,Harbin150001,China;4.NortheastNormalUniversity,Changchun130024,China)

Abstract:Byimprovedchemicalvapordepositionmethodwithouthydrogen,carbonnanotubes(CNTs)weregrownunderN2:C2H2gasusingferroceneasacatalyst.ThediameterandthelengthofCNTsare20

μm,respectively~80nmand50~100.Alignedcarbonnanotubesfilmandmulti-layerfilmwerepre2paredbychemicalvapordepositionunderdifferentsynthesisconditionswithouthydrogen.Thegrowthbe2haviorsandstructuresofCNTswerecharacterizedbyscanningelectronmicroscopy(SEM),transmissionelectronmicroscopy(TEM)andRamanspectroscopy.ResultsshowthatthevarietyshapesofCNTscanbesuccessfullygrownbyCVDwithouthydrogen.

Keywords:chemicalvapordepositionwithouthydrogen;carbonnanotubes;catalyst

收稿日期:2005-03-14;  修订日期:2005-06-16基金项目:国家自然科学基金资助(No.50072029).

作者简介:夏玉学(1979-),男,内蒙通辽人,博士研究生,从事碳纳米材料的研究1通讯联系人:王维彪,男,研究员(E-mail:wang_wbcn@http://www.wendangwang.com)1

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