非平衡平面磁控溅射阴极及其镀膜装置

维普讯资tht://pww.cqvwp.ioc m2 年0月l 0 2 O专 利请申号:826 0公开号 2:5 5 91 8 115 53申请人: 汉大武 学表 面 术技 表面。(麦 丹) 第3卷第 5 l

期6 7

申请人地址:湖小武北汉市武昌珞珈山 3( 02 470)专利称名: *N*cl/多层复合超硬膜薄及合其成装及方置法l VN本明公开了发种一 4Gl多层复合超硬薄膜以合及成 N/ l N此膜V的装置和法方膜,括包l过N渡层 N,/主l耐磨和层该 V l G4 lVN l V l减磨面层,有很高的显微硬度采,用本发明的装 和 N表具置 专 利申请:号8 2 53公开号:2 9 901 07 1 1 65

请人申日本:派欧尼股份株式会社 申请地人址:日本东京都 利名专称:材于料的汽化和供给置装用 一

种材料的汽化和供给置,装中在控制的流速下将用 其 于方 制法该膜,备间短、率高、 成成本低显,微硬度 达高时效合其 45 M a因此在速高工钢具和他其耐磨涂层工件上镀 制氮0 5,P 化碳超薄硬膜 有,很大的用实价值。具专 利申 请号 82:3 3公开 :2号1 0 9 1 19 1285

CD的液 V体料材入引汽到器化内过设置,在化器汽部内或外 通部的超声雾波化装雾化置过载,气体的体环循流加气热并汽 通化当。用于 DC液的材料体提供到制半造导体的 CD装置 V V时汽化中,材料浓的容度易控,制在根据料材流速变化快的速改气体内变料的材度浓,会不生材发料的解分,会限制 C D不 V装置的工条作件。(日本) 专 利申请号:283 5公开 :号25 9 1 96 01104申人请:京振涛国际钛金技术有限公司北

申人请:际业商机器公 司 国请申地址人:纽国约 专利美名:成称金贵属化氧的方物及法其成形的结 形 构 本明发公开一了通种过将金贵属衬底的表面暴露到含氧 源在能金贵属衬上底形成贵金 属化氧物方的法。本发明公开还了一种金贵属氧化膜层,过将贵金属衬 底的表暴面露到含 通氧离等体子形成本发。还明公开了一种将高介电常 数材料淀积在贵金属衬底上的颖方法新,

过将贵金属衬底的上表面暴 通露到含氧足源够长的时间直到成形界面增层强,后将高介 电此数常材料淀在积贵金属衬底顶上 面,增强层在夹其 间。界 ( 国)美

请申人地址:京市海淀区海淀路7北 4号 乙( 00 01 08 )专 利名称平衡平:面磁控溅射阴及极其膜镀装置 非 本发明设计一种非平衡 面磁控平射溅极阴,靶括材、包 铁磁体非背板 永磁、、体靴两块永。体磁的 NS轴线—平行靶于极放面置靶于与非铁磁性材背 之板间,侧两磁永体的 N相极对, 永磁体与靶材之间 水有冷 道。通镀膜装置真的空室四周均 匀分布有磁控射阴极,溅真空室中心设置有电铁磁本。发明使全 闭封磁力网挤笼满整个真空 ,室整个镀空膜间实现对电子的在 专利 请申:号287 5公开号:25 99 1 3o 110 3控 ,电子制难以逸逃到真空室壁 (使阳极 )以提高整个 空真室, 气的体离率化。 专 申利请号: 16 08公 号开2: 9 79 19 119 1申3请人:下器电业株产会式社 松请申人地址:日国本大阪府 专利名称蚀:置装、蚀方法及用该方法得的制路板线浸浸 一 申 人请:莱博德系统份有股公限司 请人地址申:邦德哈瑙国专利联名称:致平片的状衬底的镀膜装置

借大助阴极溅工射艺给片状衬底镀 的膜装置带有一个大约成 圆柱形的运送腔,带有 一个接在运送腔上的真空泵,一并由 块板 关闭于衬用引入底和导出开的口,有阴极镀的腔膜,含一 个 置于运送 腔可内旋转衬的底 盘托,此装置 ,底中托盘与在衬 电机减机速元的驱单动轴相联并且一面方在运送空间内,自一个中间置位以垂直A升降运动方式推到一个上部镀膜的置位和个一下部的初始位 (置 )另方一面在运送空间内可由驱动 c,轴旋转 ,同运时空间的送底板真上空泵的气口进由在初始位置 ) c (的底衬托盘关闭 (。国 )德 专利申请号: 8265公开 :2号9 0 9 1 0 111 6申7人:多请特普 化工索设备 司公郝申请 人地址:麦 灵比

种丹铝对或主要铝组由成的金属薄膜进行精加工的湿式

蚀浸器,具有动自测定 蚀浸

液中所 浸含蚀物质浓的度子色离它

仪谱根、据测定结果算计追加的计量算装置和据计根算结果将所需量的蚀浸物质供给到槽中添加的装置。此因可将浸,蚀液中蚀物质浸的度浓控在制所需范内围,而可控制属金薄膜的 从蚀浸形状和浸蚀速并度之稳便定化。用该装置或 方制法的得路板线可作用液显晶示的阵列基板中所用的栅 布线和极极源线布,可得到性能稳定的晶液显。(示并日本 )专利 申请号 8:41 8开号:公2 02 9 1 8 9 8315申人请国:科学院新 物疆理研 究 所中请人申地址:疆维吾尔自 治区乌鲁木 齐市北 京南路 4号 新 0( 30 1 80 )1 专利 名称高:温合金的抗腐强蚀度一

种 强增含有铁、和的高铬温合金抵抗由渗或碳金粉属镍

尘引起的高腐蚀温的保护方法,:a在括需保护面表上沉积 包( )厚度在 0 0至 p 1、10 .围内选的一种自或几种贵金属、周素m范元期表中第主Ⅳ和族 V主第族 元的素和它们混合的物的金属薄层。 ()在惰性b气氛中在预定温度 和下够时足内间退火处理的

专利名称 薄:膜制备的喷热分雾解方 法本明涉及一发种薄 膜制备喷的雾热分解方 法,法方首先该制配需金属所盐液,溶然后过经缩空压雾气器化,使溶液雾 化,

非平衡平面磁控溅射阴极及其镀膜装置

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