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Introduction to MEMS Spring 2012
Weidong Yi
Design, Analysis , Fabrication
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MEMS设计主讲人:杜西亮 电话:13936275369 Email: duxl2008@126.com 课程简介 MEMS是英文micro electro mechanical system的缩写,译作 微电子机械系统,简称为微机电...
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