生产工艺流程单
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晶硅太阳电池生产工艺流程单
QS-SC-2012
投料时间： 年 月 日 材料批次： 硅片供应商： 生产批次： 电阻率： ohm.cm 设备号 工艺名称： /片数 装片 1#超声波时间 粗抛碱浓度 % 制绒碱浓度 % 乙醇□异丙醇□ HF浓度 % HCL浓度 % 慢排 S 炉管号 工艺菜单 辉光时间/功率 辉光时间/功率 HF浓度 去PSG干燥 慢提 SiH4/NH3流量 PECVD 工艺菜单 装片 印刷速度 背电极印刷 印刷速度 背电场印刷 印刷速度 正电板印刷 烘干/烧结 温度 测试分档 1-3 4-6 1-7 1-6 1-7 带速 反料速度 刮板压力 丝网间距 刮板高度 网版编号 反料速度 刮板压力 丝网间距 刮板高度 网版编号 反料速度 \ 刮板压力 丝网间距 刮板高度 网版编号 S ℃ 烘干 工艺腔时间 ℃ S S 厚度 ± um 工艺条件 \ S 温度 温度 3#超声波时间 ℃ 时间 ℃ 时间 ml 纯水时间 S 纯水漂洗 S 纯水漂洗 烘干 ℃ 源温 S S S S S S S 对角线： mm 投料要求： 日期/ 投入数 产出数 碎片数 不合格数 班次 主辅料型号 操作人员 时间
备注
清洗与制绒
时间 时间 ℃
磷扩散
等离子刻蚀
W W 时间
S 气体流量 S 气体流量 S
测试序号
晶硅太阳电池生产工艺流程单 QS-SC-2012
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