一种微小型原子气室的制作方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN 105589326 A

(43)申请公布日2016.05.18

(22)申请日2014.10.23

(71)申请人北京自动化控制设备研究所

地址100074 北京市丰台区云岗西路1号院

(72)发明人郑辛王宇虹汪世林秦杰裴强高溥泽韩文法杨磊孙晓光

(74)专利代理机构核工业专利中心

代理人高尚梅

(51)Int.CI

G04F5/14

权利要求说明书说明书幅图

一种微小型原子气室的制作方法

(57)摘要

本发明属于原子气室技术领域，具

体涉及一种微小型原子气室的制作方法。

本发明的方法包含选材切割、组件抛光、

组装、表面抛光、安装排气管和后续处理

的步骤。本发明需要解决的技术问题为：

现有的微小型原子气室制作方法制作出的

原子气室不能满足高精度原子器件对气室

高精度、低应力、高纯度的技术要求。实