半导体制程-洁净室
半導體製程實習 Chapter 2半導體製程無塵室-廠務
OUTLINE 無塵室電力系統供水系統製程氣體系統空氣壓縮系統製程冷卻水空調系統消防主機和廢氣排放系統
OUTLINE 無塵室電力系統供水系統製程氣體系統空氣壓縮系統製程冷卻水空調系統消防主機和廢氣排放系統
潔淨室 潔淨室簡介 由於半導體工業所製作的積體電路元件尺寸愈來愈小，在一塊小小的晶片上，整合了許許多多的元件，因此在製作的過程中就必須防止外界雜質污染源，因為這些污染源可以造成元件性能的劣化及電路產品良率和可靠度的降低。一般污染源包括了塵埃、金屬離子、有機物等。所以製作積體電路必須在潔淨的環境下進行,盡量將污染源和晶圓隔離,一般提供潔淨空氣、控制塵粒數的空間我們即稱之為潔淨室。
潔淨室 潔淨室(Cleaning Room)的分類 以直徑0.5微米的塵粒作為比較標準，在1立方英吋的空間中，大於0.5微米的塵粒少於一個，就稱為 Class 1,而大於0.5微米的塵粒少於十個，就稱為 Class 10,大於0.5微米的塵粒少於1000個，就稱為 Class 1000。目前許多半導體積體電路產品都是在Class 1的潔淨室中製造。
無塵室
美國聯邦209E標準美國聯邦209E標準
