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我单位于年月购买使用了北京吉兆源科技有限公司PG-500射频电源设备。该设备是用于射频磁控溅射,重量轻,体积小,灵活性较强。其功能特点:

★可靠性和稳定性高;

★射频电源正面面板上具有液晶显示屏(射频控制、功率控制、通讯参数、脉冲功能、故障显示等);

★集成匹配器操作功能,使匹配器操作更加直观;

★高效的输出功率

★使用中未见故障;

★射频电源有过压保护、过流保护、反射功率保护、过温保护等保护功能。

单位:

年月日

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