石英玻璃薄板的激光精密切割技术

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电子学与光电子学

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()敏感组件筛选的工艺表结构设计,加工及离心筛选试验验证 .设计了 3种用于敏感组件筛选的工 2

艺表夹持结构,其中一种为侧向定位方式,另两种采用轴向定位方式,通过离心筛选试验检验,3种结构 均能满足表芯的固定要求,但在操作的方便性和可靠性方面有所差异 .其中一种已在生产中得到试用,其他两种拟在今后生产中继续试用 .

()测试高性能永磁材料性能,究其对表芯标度因数的影响 .测试了新型高性能永磁材料的磁性能, 3研 加工成磁钢样件后装配成上下轭铁组件和表芯组件,进行了工作间隙磁场强度测试和重力场标度因数测试 .结果证明,新材料的磁性能的确高于原有永磁材料,可明显提高工作间隙磁场强度,对降低表芯标度因数,减小伺服电路反馈输出电流,提高表芯与电路匹配成功率都有帮助 . ()关键工装夹具的设计,改进及装配试验验证 .新设计的敏感组件黏接夹具采用了新的对中方式和 4材料,避免了原有夹具易受温度影响,需重复加工等固有缺陷,通过初步装配试验和结果测试,能够满足 设计要求 .

()黏接工艺的改进 .调整了表芯吊装工序中的粘接工艺,减小了黏接剂固化收缩应力对表芯性能的 5 影响,缩短了固化时间 . ()电老化工艺的改进 .设计了专用表芯电老化工具,通过测试,性能稳定,操作方便快捷,测试数 6

据通过计算机接口可自动记录,减少了人工监视和数据记录工作量,可直接在今后的生产中使用 . ()工艺流程的合理化改进 .整理,细化了装配工艺规程,对部分工序内容进行了调整和补充,将电 7装和调试,离心筛选等内容融合进装配工艺过程中,减少了表装过程中的交接环节,消除单位与单位之间 产品运送,存储可能造成的产品质量问题,避免了由于交接而影响装配进度的情况;大量补充,增加了工

序中装配示意图,明确表示了各装配组件所属关系,操作方法和工艺流程,提高了工艺文件的指导性 . () 8离心机多路数据采集系统的建立 .通过建立离心机多路采集系统,设计并加工了专用夹具,输出接口和配套的数据采集软件,实现了试验数据的自动采集,自动处理,成倍提高了离心机的使用效率 . 该项目的研究,从设计和工艺两方面改进了力平衡加速度表的生产状态,取得了一些阶段性成果,部 分技术改进措施已在

生产中成功应用,对提高装表效率和大量程表成品率发挥了积极作用 .通过对近期生

产状况的不完全统计,表芯成品率提高约 1,效果明显 .倍

45石英玻璃薄板的激光精密切割技术 .O 袁明权 石英玻璃属于高硬度,高熔点的脆性透明材料,一般加工方法很难满足加工要求 .现有的石英玻璃加工方法(如机械研磨,磨料喷射加工,超声落料,化学腐蚀等)均存在各种缺陷,在实际生产中,改进现有 石英玻璃加工技术十分重要 .将激光精密切割技术应用于石英玻璃加工中,可以大大地改善石英玻璃加工的表面质量并提高加工生产效率 .

材料能够实现激光切割的首要条件是该材料对切割用激光的吸收要好,也即材料对切割用激光的光学

吸收率要高,光学透过率要低.测试待切割 J S—类远紫外光学石英玻璃材料样品( G 11厚度为 0 m的光 .m ) 9 学透射谱线得知:J 1 1 GS—石英玻璃对波长小于 5u光的光学透过率很高,对波长 52 a的光学透过 m~ 0p n光 率接近于 0 .即,J 1 1英玻璃对波长 5 2 m光的光学吸收率很高 .要实现对 J 1 1英玻璃的激 GS—石~ 0u GS—石

光切割就需要选择波长在 52 m范围内的激光源.C 2~0 O激光器产生的激光波长为 1. 0 m,可被 J S— 6 G 11 石英玻璃较好吸收,因此选用 C 2 O激光加工数控机床进行 J 1 1英玻璃的切割是可行的. GS—石 运用美国 L m nc u oi s公司生产的 Ves- aeV5014 raL s 0/04型 C激光加工数控机床进行 J I 1 O2 GS-石英玻璃薄板的激光精密切割试验 .激光精密切割样品设计图形与尺寸见图 1 .激光精密切割所得样品如图 2所

石英玻璃薄板的激光精密切割技术

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