第３５卷第４期２０１１年７月

激光技术

Ｖ０１．３５．Ｎｏ．４

ＬＡＳＥＲＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹＪＩｌｌｙ，２０１１

文章编号：１００ｌ一３８０６（２０１１）０４一０４７２－０５

基于热裂法的液晶玻璃基板激光切割技术研究

汪旭煌１’２”，姚建华１’２’，周国斌１，楼程华１’２，杨渊思‘

（１．浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部／浙江省重点实验室，杭州３１００１４；２．浙江工业大学激光加工技术工程研究中心，杭州３１００１４；３．浙江工业大学理学院，杭州３１００１４）

摘要：为了实现液晶玻璃基板的可控断裂切割，提出了一种液晶玻璃基板激光切割的新方法。采用Ｎｄ：ＹＡＧ激光在液晶玻璃基板上预置初始裂纹，用Ｃ０：激光作为热源对其进行加热，并用Ａｒ气进行冷却。分析了激光光斑尺寸和液晶玻璃基板厚度对切割的影响，并与传统机械切割进行了对比。用扫描电子显微镜检测了激光切割后切割表面及断面形貌。结果表明，运用机械切割，其基体内存在大量的微裂纹，而基于热裂法的液晶玻璃基板激光切割表面光滑平直、无毛刺、基体内无微裂纹存在，切割断面影响区小于２０ｕ肌，优越性明显高于机械切割。

关键词：激光技术；激光切割；裂纹控制法；液晶玻璃基板；裂纹扩展中图分类号：ＴＧ４８５

文献标识码：Ａ

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引言

近年来，随着现代科技的进步和信息技术的迅猛

显示器。现已被广泛地应用于光电子、生物医疗和国防等高科技电子显示领域，如液晶电视、笔记本电脑、通讯及仪器仪表、监视器等¨引。据显示器市场调查公司美国Ｄｉｓｐｌａｙｓｅａｒｃｈ于美国时间２００８聊旬８公布的全球平板显示器市场的调查结果；２０１１年，中国将超过美国，居全球液晶显示器市场第２位。而这些高科技电子显示器的制作过程中都需要对大幅面玻璃基板进行切割，其切割质量的好坏直接影响了其后相关产品的生产成本和市场价值。

对于液晶玻璃基板这种脆性材料，传统的切割方法是采用金刚石砂轮片或硬质合金轮滑线切割的机械切割，然后用外力使其分离。用该机械方法进行切割存在较大的残余应力，极易产生断片，边缘碎屑与微裂

发展，以及人们对高品质生活的追求，显示技术正逐步的向轻薄化，大幅面方向发展。液晶显示器（１ｉｑｕｉｄ

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ｄｉｓｐｌａｙ，ＬＣＤ）由于具有质量轻，图像清晰细腻，

色彩自然丰富而逼真等优点而取代传统的阴极射线管

基金项目：浙江省科技厅资助项目（２００９ｃ３ｌ１０４）

作者简介：汪旭煌（１９８５－），男，硕士研究生，主要从事激光与物质相互作用方面的研究。

通讯联系人。Ｅ ｍａｉｌ：ｌａ８ｅｒ＠ｚｊｕｔ．ｅｄｕ．ｃｎ

收稿日期：２０ｌＯ．０９．２９；收到修改稿日期：２０１０ １０—１３