SCHMID清洗设备中文版说明书
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仅操作部分
6、操作
6.1 开机
6.1.1 步骤1:开机前准备
第一步:解锁所有急停按钮
第二步:关闭所有窗户
第三步:检查排风
第四步:检查压缩空气
第五步:检查DI水
6.1.2步骤2:给机器上电
第一步:将机器的主开关打到ON的状态此时机器有电 第二步:敲击键盘任意键
第三步:按下RESET键
第四步:按下control on
6.1.3步骤3:给CHILLER上电
第一步:检查cooling水
第二步:将CHILLER的主开关打到ON的状态此时CHILLER启动
6.1.4步骤4:登录Windows
第一步:点击PC上USER选框
第二步:输入用户名和密码,点击确定
6.2 工艺初始化准备
第一步:登录用户
第二步:了解所有报警信息
第三步:按下Recipe按钮,下载需要的Recipe
第四步:检查tank中的液位情况
第五步:检查Dosing box 和 Buffer tank中的液位情况
此时机器用于工艺已准备好,如果药水超过一天没有使用,请按如下步骤操作。 第一步:登录用户
第二步:了解所有报警信息
第三步:按下Recipe按钮,下载需要的Recipe
第四步:检查tank中的液位情况
第五步:检查Dosing box 和 Buffer tank中的液位 第六步:将机器进入Maintenance模式
第七步:点击M02
第八步:根据管路排掉20L药液
第九步:添加15LHNO3,5LHF
第十步:退出Maintenance模式
6.3 自动生产
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