SCHMID清洗设备中文版说明书

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仅操作部分

6、操作

6.1 开机

6.1.1 步骤1:开机前准备

第一步:解锁所有急停按钮

第二步:关闭所有窗户

第三步:检查排风

第四步:检查压缩空气

第五步:检查DI水

6.1.2步骤2:给机器上电

第一步:将机器的主开关打到ON的状态此时机器有电 第二步:敲击键盘任意键

第三步:按下RESET键

第四步:按下control on

6.1.3步骤3:给CHILLER上电

第一步:检查cooling水

第二步:将CHILLER的主开关打到ON的状态此时CHILLER启动

6.1.4步骤4:登录Windows

第一步:点击PC上USER选框

第二步:输入用户名和密码,点击确定

6.2 工艺初始化准备

第一步:登录用户

第二步:了解所有报警信息

第三步:按下Recipe按钮,下载需要的Recipe

第四步:检查tank中的液位情况

第五步:检查Dosing box 和 Buffer tank中的液位情况

此时机器用于工艺已准备好,如果药水超过一天没有使用,请按如下步骤操作。 第一步:登录用户

第二步:了解所有报警信息

第三步:按下Recipe按钮,下载需要的Recipe

第四步:检查tank中的液位情况

第五步:检查Dosing box 和 Buffer tank中的液位 第六步:将机器进入Maintenance模式

第七步:点击M02

第八步:根据管路排掉20L药液

第九步:添加15LHNO3,5LHF

第十步:退出Maintenance模式

6.3 自动生产

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