静电接地量测

名碩腦(蘇電)州 限公司 有日 期0:824..0210 電靜接系統地測量業作導書指

版本: 11 目.的:保靜電證地系統的正確接接.真正地到做電靜防. 護. 2範:圍全廠. 3.相 資料關:ESD 電防護規範(靜E3-09) 14. 業作程:序管理 任:責 41.1.本規範由 程工負責制部定,經管核准主實後.施 4.1.2 工部 程EDS 程工師責負技術導. 指.4.13靜電接 盒處線及各單位主的幹由工務課每線年聯繫半供廠電量商,測 如務工課根生據線產需的要重線架架新線,完成或應後由工課採用接地務阻抗議 對幹主線進接地行量.測工部 ES程 工程師D進確認行制並 r做poer,tmali 相關各單位.4 ..1 4Q A負對責各支及導電地分板防靜,電地板每的量測. 5月 .驗項檢目:地對抗阻 6..使 用儀器:電接靜地電儀阻 阻抗量測器(RT,-000),万1用,表電靜.線7 允.收準標:對地 阻抗< , 1導電地的阻板抗10^6<Ω/ s; 抗靜q電板的阻地在抗10^ ~10^612 /Ωsq 間之 8.檢驗法及步方驟 ..81 靜接電盒處線及單各位主的線幹量測的 8...1 打1 1 開靜電接線盒,將樓兩參考分極別出引至接地電接阻儀’P的’’,’兩接線柱上,C 將靜電再接地主線接至接電阻儀地的E’’線柱接,上量得 1測 樓接線盒各處地接阻值8.1 .2 將1 接樓盒內兩線考參分極引到 別 2樓,接至地接電阻’儀’,P’’兩接線柱C 打開.2 樓靜電接線 ,盒將靜電并地接線主至接地電接儀阻E’’線柱,量接得 測2 樓各線接處盒接地阻 8值1.. 將 1 3接線盒樓兩參考極分內別引 2 到,樓至接地接阻電的儀P’’’,’C 兩線柱,在接工 作靜電區接地線任上一點線引接至地阻電的儀’’E接柱,量線測 得 樓2主幹線各的抗.阻 .28導電地 ,板 靜抗地電板的測量8 2.1. 方法導電地:采用點對板地及點點對量; 測抗靜電地采板點對用量測點 .82. 步驟:2點地量測時將一個對錘放重乾淨於導的電板地,同上將時阻量測器抗接地, 阻抗量 器電壓測定 設10,壓下測V按鈕試1 5秒, 讀並取記錄阻值抗 .點對點量測將兩個時錘放重於淨的乾靜電地板防上,距相20C .M 抗量阻測器電壓 定 100設V,下壓測按試鈕 15 ,秒取讀記並阻錄 8抗 3 各.分支量測 的.381 .万用表撥將至交電壓檔, 點2流 點 8.33. 222v 0電三源插頭相的面上一點1 是設備 接點地 將万,用表黑棒接的 點,紅棒 1點1

接點

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