MEMS设计、仿真软件的综合比较
1) 用表格形式对MEMS常用的软件进行比较。比较的软件四大类：TannerPro(主要是L-edit),HFSS, CoventorWare,IntelliSense,ANSYS 2) 比较的内容： 公司、厂家; 软件的总体描述; 软件的模块关系(模块组成); 按模块来阐述的主要用途; 按模块来阐述的性能参数; 软件所做的实例图(分模块)。 你对此软件(或者是具体模块)的看法和评价,不少于5个模块。
《MEMS 器件、仿真与系统集成》期中测验（三） （占考试成绩的20%，中英文答题均可，5月30日交电子版。任课教师：陈剑鸣）
研究生： （签字）
学 号：
MEMS设计、仿真软件的综合比较。（占本课程的20%）。
具体要求：
1） 用表格形式对MEMS常用的软件进行比较。比较的软件四大
类：TannerPro（主要是L-edit），HFSS, CoventorWare，IntelliSense，ANSYS
2） 比较的内容：
公司、厂家；
软件的总体描述；
软件的模块关系（模块组成）；
按模块来阐述的主要用途；
按模块来阐述的性能参数；
软件所做的实例图（分模块）。
你对此软件（或者是具体模块）的看法和评价，不少于5个模块。
作业作答如下：
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