超声波清洗技术在液晶面板制造过程中的应用

一、LCD制造过程中超声波清洗的应用

液晶显示器LCD 的应用越来越广泛，由于LCD显示基板上有大量的微米级精细线路与控制用晶体管。因此，LCD显示屏制造过程的清洗是精密清洗，清洗技术要求之高、洁净度要求之高是业内所公认的，为了提高清洗的能力与技术水平，大家都想尽一切化学与物理的方法来进行，有药液清洗、刷洗、高压汽水清洗。超声波清洗技术也得到了广泛应用。主要有下列使用场合：

1、成盒前的清洗：包括涂光刻胶前的清洗、退膜清洗、涂PI/TOP前的清洗。ITO玻璃在入厂运输及生产过程的运输中很容易被灰尘、有机物、油脂等杂质污染，因此在对玻璃表面进行涂层（光刻胶、PI及TOP）前，需要经过多道工序的清洗后才能进行涂布，这些清洗过程通常采取如下工艺：

入口段 →化学喷淋→ 化学刷洗→ DI水喷淋→浸泡式超声波28KHZ清洗 → DI水喷淋→高压（气）水喷淋→兆高频超声波喷淋1MHZ→FINAL DI水喷淋→ 气刀吹干 →出口段

从上面的流程可以看出，这里用到两种频率的超声波进行清洗，主要是基于不同的作用机理所决定的。前面已经讲到：低频超声清洗适用于大部件表面或者污物和清洗件表面结合强度高的场合，在液体中容易产生空化，产生的力度大，作用也越强，适用于对工件进行初级次清洗。兆高频超声波清洗适合于清洗污物与被清洗件表面结合力较弱的场合，它能去除微米、亚微米级的污物而对清洗工件没有任何损伤。它清洗时不产生空化，而主要是声压梯度、粒子速度和声流的作用。特点是清洗方向性强，被清洗工件一般置于与声束平行的方向。

2、制成液晶盒后的清洗：液晶玻璃在制成盒后需要进行灌注液晶，灌注前需要进行抽真空，抽真空过程中液晶由于气泡的原因会飞溅到玻璃上、灌注过程中玻璃直接与液晶接触，灌注后玻璃表面与夹缝中会有液晶的残留。为了避免玻璃边划伤软性连接元器件以及方便管脚安装，灌注后的玻璃还要进行磨边倒角处理，磨边后也会有玻璃碎屑残留在玻璃表面与夹缝中。这些残留的液晶与玻璃碎屑要进行彻底清洗掉，才能制造出合格并有保证的产品——LCD显示器。成盒后的液晶玻璃清洗一般采用插篮多槽式的超声波分段清洗并配备循环过滤系统、冲淋槽、干燥槽以及其它附件，流程一般如下：

上料 →水基清洗剂1超声波清洗→水基清洗剂2超声波清洗→ DI水喷淋清洗→纯水超声波漂洗 1→纯水超声波漂洗 2→慢提拉脱水→热风烘干→下料

同时按照厂家技术要求及产量的不同情况，有自动机械手型式的、也有手动人工搬运方式的，各厂家根据自己产品档次的不同，对各清洗槽配置的具体数量也有差异。同时，为在提高清洗效果的同时节省纯水的用量，清洗剂清洗后的多槽超声波漂洗通常采取纯水循环利用的方式进行，这也将更加能够保证温度的稳定与一致。

二、LCD超声波清洗过程控制技术要点

LCD显示屏制造过程的清洗是精密清洗，为了达到良好的清洗效果，必须对超声波清洗的相关参数进行有效的控制与优化，达到事半功倍的目的。超声波清洗在 LCD制造过程中重点要控制好下列几个关键参数：频率、工件位置、清洗介质、功率密度、清洗液的流动速度、水温等。

1、频率：超声波空化和频率有密切关系，频率低，空化容易产生，同时在低频情况下，液体受到的压缩和稀疏作用有更长的时间间隔．使气泡在崩溃前能生长到较大的尺寸，增高空化强度，有利于清洗作用，但空化强度高的同时，易侵蚀清洗件表