等离子清洗机应用及原理
等离子清洗机应用及原理
等离子清洗机应用及原理
一、金属表面去油及清洁
金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、
铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情
况下的等离子处理会产生以下效果：
1.1灰化表面有机层
－表面会受到化学轰击（氧 下图）
－在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发
－污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出
－紫外辐射破坏污染物
因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。
1.2氧化物去除
金属氧化物会与处理气体发生化学反应（下图）
这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧
气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。
1.3焊接
通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等
离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。
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