各种硅片不良的解决方案
断线善后处理
首先做好断线记录(断线时间、机台号、部位、切深)留好线头
一.查明断线原因及断线情况.
二.急时上报,未经同意,不得私自处理。
三.处理流程:
1. 在出线端断线,宽度不超过10毫米的直接拉线切割.
2.切深≦60mm中部或进线端断线,以30mm/min直接升起,迅速布线,8000流量砂浆冲洗,冲片时在线网上铺上无尘纸,
冲开粘在一起的片子后,迅速把晶棒降到距线网2mm处,然后 以10mm/min的进给认真仔细的“认刀”。3.中部或进线端断线,切深在50mm---80mm之间的,以10mm/min的速度升料到距进刀处30--40毫米,,停止。线速调到2m/s,以2%走线1cm,以调平线网,停止。打开砂浆8000流量均匀冲片子。把晶棒两侧的线网小心的剪掉(剪时要用手捏着),留出3-4厘米的线头,另一端不剪.(进线端有线网的一定要保留该部分线网,以便重新布线.剪两侧线网时一定要用手或其他夹紧物,夹紧预留的线网头.)布线网,重新切割。4进线端或中部断线切深超过80mm的视情况能认刀的就认刀否则就反切或直接拉线正向切割。
4.进线端断线,第一次断线,切深在80mm.1换掉放线轮,用一个空的收线轮来代替。以低于原2N(左19和右21)的张力,切割线方向改为:右,其他参数不变,手动2m/s的线速走1m,不要开砂浆。2把晶棒提升至30---40mm处,重新对接焊线,焊线时要焊接均匀,
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