基于激光差动多普勒效应的微机电系统动态测试技术
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基于激光差动多普勒效应的微 机电系统动态测试技术
基于激光差动多普勒效应的微机电系统动态测试技术*张涛 冷长林 钟莹 张国雄 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验窒,天津300072) 摘要:提出了一种用于测量微机电...
I 基于多普勒效应的速度测量仪摘 要流场中有各种...其动态响应快、空间分辨 率高、测量范围大,在测量...第二章分析了激光多普勒测速仪的工作原理,对差动 ...
本课题是基于激光多普勒效应测量微电机的转速的系统,...根据微电机的结构特点,搭建了差 动激光多普勒光路,...微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法:「...
(一定要注意:多普勒效应) , 无损检测 6.热敏电阻...9.电涡流原理及趋肤效应(集肤效应) , 差动电感...19.测试系统的输入输出动态特性描述。 文档贡献者 ...
随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展,对器件运动性能检测的需求日益迫切。采用激光差动多普勒测量技术能准确可靠地对MEMS器件进行动态特性测试。本文介绍了激光差动...
激光多普勒效应及其应用_开题报告_物理_自然科学_专业...激光多普勒技术在流速测量中由于具有较高的空间和时间...参考光外差技术和差动多普勒 “实条纹” 技术. 特...
‘* > ~5>$ # e #( 差动激光多普勒测速仪在固体速度测量中的应用周 健 , 龙兴武国防科学技术大学 光电科学与工程学院 , 湖南 长沙 + # - ) ’ "#*...
7-微结构动态特性测试_机械/仪表_工程科技_专业资料...测量系统-离面运动 基于激光多普勒技术的测量系统-离...由于多普勒技术具有,在微机电系统检测中,多普勒技 术...
激光多普勒效应是激光多普勒 测速技术的重要理论基础,按照不同的实现手段,可 而且具有非接触测量、自准直、能够判断运动方向、低成本等优点。 作者介绍了基于激光回馈...
差动半桥 D.差动全桥 ★标准答案:D ☆考生答案:...(2 分) A.多普勒效应 B.多普勒频移 C.逆压电...71. 研究系统动态响应的输入函数主要有( )(2 分)...
