集成电路制造工艺原理
《集成电路制造工艺原理》
课程教学
教 案
山东大学信息科学与工程学院
电子科学与技术教研室(微电)
张 新
2课程总体介绍：
1．课程性质及开课时间：本课程为电子科学与技术专业（微电
子技术方向和光电子技术方向）的专业选修课。本课程是半
导体集成电路、晶体管原理与设计和光集成电路等课程的前
修课程。本课程开课时间暂定在第五学期。
2．参考教材：《半导体器件工艺原理》 国防工业出版社
华中工学院、西北电讯工程学院合编
《半导体器件工艺原理》（上、下册）
国防工业出版社 成都电讯工程学院编著
《半导体器件工艺原理》上海科技出版社
《半导体器件制造工艺》上海科技出版社 《集成电路制造技术
-原理与实践》
电子工业出版社
《超大规模集成电路技术基础》 电子工业出版社
《超大规模集成电路工艺原理-硅和砷化镓》
电子工业出版
3
． 目前实际教学学时数：课内课时54学时
4． 教学内容简介：本课程主要介绍了以硅外延平面工艺为基础
的，与微电子技术相关的器件（硅器件）、集成电路（硅集 社
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