微机电导论课总结与感想

微机电导论课总结与感想

微机械电子系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)泛指从微//nm）到毫米（mm）量级大小的电子机械装置微机电技术是近二十年来发展起来的一门技术。

由此可知，微机电的装置尺寸极其微小，以至于在很多的性能和运动参数上和宏观物体有较大差异。

对于微观物体来说，会发生尺寸效应，比如，微型机械电子系统中起主导作用的力是表面力，它会占很大比例，甚至可以超过重力和电磁力。而且在微观领域，热交换和化学反应等尤为迅速。

对于微机械而言，由于尺寸极其微小，传统的能源驱动方式难以奏效，需要利用一些新型驱动方式，如静电驱动、压电驱动或热膨胀力驱动等。另外，从微制造工艺的特点考虑，通常使用硅或改性硅作为机械材料，有时也根据需要使用一些其他材料，如：传感器材料、基体材料、致动材料、键合材料。

微机电的设计理论基础包括：力的尺寸效应、微结构表面效应、微摩擦学、热传导、误差效应、微流体力学、MEMS的运动学和动力学，MEMS的基本设计与传动理论，微结构材料力学。

在了解微机电的设计理论基础后就可以进行一些研究实验，开发更安全，方便，人性化的产品供人使用

例如，CMOS与胶囊胃镜，是一种将微机电应用到医学观测的一种设备。它是为了代替胃镜进入人体食道观察一些传统手段不能清楚看到的疾患，同时它还可以避免了人们吞下胃镜的不便和痛苦。