单晶炉设备参数表（FT-CZ2208AE）

1.概述:

FT-CZ2208AE型单晶炉是根据Czochralski(CZ Method)原理，在惰性气体腔体中通过石墨电阻加热器以高温将石英坩埚内半导体材料（多晶硅）熔化、稳定，再通过籽晶与熔硅的接触，籍籽晶提升及旋转机构、坩埚提升及旋转机构、直径测定控制系统、温度测定控制系统等关键部件的精密配合，用于制备太阳能级,亦可以用于电路级单晶的设备系统。 本设备以以下规格为基准进行设计。 1）日本工业规格(JIS) 2）日本电气工业规格(JEM) 3）电气规格调查会标准规格(JEC)

2．特点： 2.1机械部分：

整机结构美观，机械部件采用高精度数控加工，材质采用不锈钢和耐高温不锈钢。 1．炉子腔体内外层采用304L不锈钢。双层水冷式结构。 2．真空旋转轴全部采用稳定的大型磁流体密封。 3．炉腔法兰为整体锻造件。 4．密封圈全部采用高质进口件。

5．氩气管路及其配套的电磁阀采用高质量进口件。 6．高品质的真空管路系统。

采用多种安全保障措施和安全装置。例如： 1．具有电源安全保护装置。 2．炉体水温报警系统。 3．冷却水流量过小报警（OP）。 4．炉压异常报警系统。 5．安装有安全减压阀。

6．炉盖采用浮动设计，在炉内压力过高时，自动泄压。

炉内压力配有高低真空检测系统，同时测量上、下炉体，测量精度高。 具有配套的节能热场和大装料量热场供客户选择(OP)。